Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films

Varování

Publikace nespadá pod Fakultu sportovních studií, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	OBRUSNÍK Adam BONAVENTURA Zdeněk POTOCKÝ Štěpán KROMKA Alexander
Rok publikování	2012
Druh	Článek ve sborníku
Konference	XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases Proceedings
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	finite element method, simulation, plasma, NCD, microwave plasma, hydrogen plasma
Související projekty:	Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev